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應用案例
晶圓表面劃痕、凹坑、凸起等缺陷檢測
晶圓及器件電阻率，摻雜濃度，方塊電阻及I-V和RF測試
顆粒數量、金屬離子濃度、膜厚、折射率、固含量檢測
微納米摩擦、力學表征，摩擦表面輪廓，摩擦磨損情況表征
光柵、光波導光學器件形貌、電學表征、場強表征
微納米材料形貌、力學、電學、原位等綜合表征
