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    首頁  > 應用案例> 微納米光學
    
                 
    
                
    
            
    
    
    
        
    
            
    
                
    
                    
    微納米光學
    
                
    
            
    
            
            
    
                
    
                	                    
    
                        
                        
    MVI散射式掃描近場光學顯微鏡
    
                    
    
                                        
    
                        
                        
    NX10 高精度原子力顯微鏡
    
                    
    
                                        
    
                        
                        
    D500 高精度臺階儀
    
                    
    
                                        
    
                        
                        
    Profilm 3D光學輪廓儀
    
                    
    
                                        
    
                        
                        
    Zeta20 多模式三維光學輪廓儀
    
                    
    
                                    
    
                
                
                

            
    
            
    
            
    
                        
    
                
    
                    
    MVI散射式掃描近場光學顯微鏡:
    
                
    
                
    
                    
    AFM SNOM/Nano IR，基于AFM高精度場強表征
    
                
    
            
    
                        
    
                
    
                    
    NX10 高精度原子力顯微鏡:
    
                
    
                
    
                    
    亞納米形貌、電學、力學性質綜合表征
    
                
    
            
    
                        
    
                
    
                    
    D500 高精度臺階儀:
    
                
    
                
    
                    
    臺階高度測試、2D應力測試（可擴展3Dmapping型號）
    
                
    
            
    
                        
    
                
    
                    
    Profilm 3D光學輪廓儀:
    
                
    
                
    
                    
    器件輪廓測試、膜厚測試
    
                
    
            
    
                        
    
                
    
                    
    Zeta20 多模式三維光學輪廓儀:
    
                
    
                
    
                    
    器件寬粗糙度測試、表面輪廓形貌表征、應力應變測試
    
                
    
            
    
                
    
      		

   
    
    
    
    

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