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    微納米輔助設備

        1. 便攜式AFM
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        1. D系列臺階儀
        2. P系列臺階儀
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        1. Zeta系列光學輪廓儀
        2. 白光干涉儀
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        1. 單點厚度測量
        2. 微米(顯微)級光斑尺度厚度測量
        3. 自動厚度測量系統
        4. 在線厚度測量系統
        5. 橢偏儀
        6. 棱鏡耦合儀
        +
        1. 表面等離子共振顯微鏡
        2. 表面等離子共振儀
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      1. +
        1. 納米拉伸儀
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        1. 原位TEM四自由度納米操縱樣品桿
        +
        1. 原位拉伸臺
        2. In-SEM納米操作機
        3. In-SEM納米壓痕
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        1. 小型研發臺
        2. 手動探針臺
        3. 半自動探針臺
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        1. 示波器
        2. 矢量網絡分析儀
        3. 頻譜分析儀
        4. 功率分析儀
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        6. 誤碼率測試儀
        7. 相干光信號分析儀
        8. 頻率計數器
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        1. 探針及配件
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        1. In-SEM原子力顯微鏡
        +
        1. In-SEM納米壓痕
        2. In-SEM 納米操作機
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        1. 原位芯片及Holder
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        1. 電鏡樣品清洗機
        2. 等離子清洗機
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        1. 被動隔震臺
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        1. 樣品切割
        2. 鑲嵌
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        1. 工業/測量顯微鏡
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        1. 干燥箱
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      +
        1. AFM探針
        2. AFM標樣基底
        +
        1. 氮化硅薄膜窗口
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        3. TEM耗材
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        1. 光柵模板
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        4. 納米壓印膠
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    • 電鏡樣品清洗機

      集Downstream等離子體、紫外輯照、加熱真空脫附三種清洗模式于一體,隨時切換 。適用于各種掃描...

    • 液體顆粒度儀

      可檢測光阻產品、SOG等產品中0.15um的顆粒

    • 精密玻璃切割機(桌面型)

      精密玻璃切割 制樣

    • Estable主動隔振臺

      桌面式主動隔振系統,安裝簡易

    • 徠卡室溫超薄切片機 Leica EM UC7

      徠卡室溫/冷凍超薄切片機系列,主要用于TEM,可切樣品涉及塑料、橡膠、高分子聚合物、軟金屬、生物樣品...

    • 定制型隔振系統

      定制型隔振系統,安裝簡易,應用于大型設備保護,場地振動環境優化,振動危害治理等。

    • 定制型隔振系統

      定制型隔振系統,安裝簡易,高性能之選,應用于大型設備保護,場地振動環境優化,振動危害治理等。

    • Diener ZEPTO等離子清洗機

      配有外部PC控制系統,用于小批量工藝研發、清洗、活化、蝕刻

    • Leica DVM2500 徠卡數字顯微鏡

      Leica DVM2500 具備出眾的靈活性和設計開放性。當采用基本配置時,它無疑是數字質量控制領域...

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